就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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涂膠預處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)科研實驗室利器
來源:
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作者:上海雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2026-01-31
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涂膠預處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應用于光刻工藝
涂膠預處理(HMDS)系統(tǒng)涂底為了增強晶圓表面的黏附性，通常使用六甲基二硅亞胺（HMDS）進行處理。 將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。
涂膠預處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應工藝性能
HMDS藥液泄漏報警提示系統(tǒng)
HMDS低液位提示
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
程序互鎖定保護等功能
產品兼容：2-12寸晶圓及碎片，多個cassette，（可定制）
溫度范圍：RT-200℃
真空度：≤1torr
操作方式：人機界面，一鍵運行
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
數(shù)據(jù)處理：多個工藝方案，可修改并保存，使用數(shù)據(jù)可記錄
功能：去水烘烤、HMDS增粘劑涂布、蒸鍍固化、廢氣排放工藝基于一體。
更多用途,半導體制造/納米壓印光電面板處理/陶瓷新材料/納米多孔陶瓷材料/碳纖維材料/碳化硅材料等新型復合材料。
